1. 半導體製程維護、異常處理與改善及新製程開發。 2. 產品良率提昇、製造流程簡化及產品失敗分析。 3. 建立、改善製程條件,並監控製程結果。 4. 評估、引進、驗收新製程、技術設備及材料。 5. 執行部門計畫及規劃執行更新部門內相關製程文件。