STAGE – Caractérisation et amélioration de la variabilité du procédé Back End en 18nm – F/H
STMicroelectronics STAGE – Caractérisation et amélioration de la variabilité du procédé Back End en 18nm – F/H
Description
Description du stage :
Le département R&D CeMA (CMOS – eNVM – Analog Technologies) a en charge le développement de mémoires à changement de phase (PCM).
STMicroelectronics est à la pointe des procédés et des produits fondés sur ces mémoires non volatiles intégrées .
La technologie ePCM propriété de ST est aujourd’hui une référence grâce à sa fiabilité et à la faible taille de sa cellule.
Le procédé de fabrication des ePCM est en production sur le nœud 28 nm et en phase de préproduction et de prototypage pour le 18 nm
L’équipe P18 BEOL est en charge du développement des interconnections Back End pour les ePCM en 18nm
A propos de vos missions :
L’ingénieur(e) Process Intégration est en charge du procédé de fabrication :
•Garent de la route de fabrication, du plan de contrôle (mesures lors de la fabrication) et des performances de la technologie
•Force de proposition pour des changements de procédés visant à améliorer le rendement ou la robustesse du procédé
•Participe à des réunions d'analyse et de résolution de problèmes
•Interlocuteur privilégiée des ateliers de production
• Référent pour les différentes parties prenantes afin de mettre en place des changements de process.
Parmi les nombreuses problématiques rencontrées lors de la fabrication des semi-conducteurs, la réduction de la variabilité du procédé de fabrication est clé pour l'industrialisation des composants.
Dans ce contexte, la mission proposée consiste à étudier la dispersion du procédé back end sur un nouveau produit et de comparer cette variabilité au procédé de référence. Le stage s'articulera autour des sujets suivants:
•Faire des mesures intensives des dimensionnels, épaisseurs et autres sur les paramètres clés de la fabrication du back end
•Réaliser des analyses de construction (TEM) pour corréler avec les mesures réalisées en cours de fabrication.
•Définir un tableau de bord des paramètres identifiés comme clés à suivre pour la technologie
•Etudier les réponses électriques (PT/EWS) en fonction des variations des paramètres clés.
•Comparer ces performances au procédé de référence de notre partenaire et en interne
A propos de vous :
- De formation Bac +5, vous avez idéalement des connaissances en physique des dispositifs semi-conducteurs, physique des matériaux, électronique ou équivalent. Des connaissances en procédés de la microélectronique, design ou masque constitueraient également un atout.
- Des bases en statistique ainsi que la maitrise des outils associés (e.g. Microsoft Excel) sont un plus
- Niveau d’anglais : anglais technique
- Votre curiosité, travail en équipe, rigueur et sens de l’initiative seront des atouts indispensables.